作者：Jon Titus 单位：美国国际数据集团 出版：《电子产品世界》2004年第24期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZCS2004240060 DOC编号：DOCDZCS2004240069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 从半导体集成电路技术发展而来的MEMS (微机械电子系统)技术日渐成熟。目前MEMS技术在传感器领域的应用增长较快，特别是在加速度计、压力传感器、红外传感器等应用中， MEMS发挥了巨大的作用，可用于压力和加速度测量等多种应用，这些也极大地推动了传感器技术和MEMS技术的发展。

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