《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统》PDF+DOC 讨论了一种热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件 ；硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻 ，作为热激励单元 ；在梁的根部设置一压敏电阻 ，作为拾振单元。基于该谐振式硅微结构压力传感器敏感机理 ，分析了信号的相互转换 ，给出了传感器......
2. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
3. 《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC 针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构，利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算。分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时；梁谐振子长度、宽度、厚度变化时；以及激、拾振电阻共同作用时，梁谐振子温度场的分布规律。...
4. 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC 本文研究了谐振式硅微结构压力传感器在单频激励和双频激励情况下的非线性振动特性。利用多尺度法研究运动方程中三次非线性项对传感器频率特性的影响规律，提出了改善谐振式硅微结构传感器特性的方法以及在实现闭环自激系统时应采取的措施。...
5. 《基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件》PDF+DOC 对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时，梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。...
6. 《硅微谐振式压力传感器测试方法研究》PDF+DOC 为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法，本文介绍了上述方法的相关验证实验，最后针对实验结果做了简要分析。...
7. 《谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪》PDF+DOC 提出了一种谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器，用于微机械谐振式传感器各关键环节的测试、分析与评估。主要解决测试对象特性模型、微弱信号处理、测试数据分析评估等问题，并将有关理论和技术集成为一台模块化的、具一定开放性的测试仪器。该测试仪器对于深入掌握谐振式硅微结构传感器谐振子和闭环系统的特性和优化方法......
8. 《谐振式微小型压力传感器数字闭环系统》PDF+DOC 在微小型特别是硅谐振微传感器中，低信噪比的微弱信号检测、闭环自激电路的小型化和抗干扰等问题十分突出.复合音叉微小型谐振式压力传感器数字锁相环闭环检测系统将输入的模拟信号(压力)直接转换为准数字量(频率)，测量精度高，基本上解决了测量系统中结构参数小、工作频率高、信号幅度弱、耦合强、干扰大等问题，该方......
9. 《未来的传感器技术》PDF+DOC 1.引言种种迹象表明在末来的十年中对传感器的需求量将继续增长。可以确信对各种形式传感器的年需求增长量可达10～15%，而新型压力传感器的年增长率可能最大。造价低、结构牢固、性能可靠、能与计算机控制系统配套的传感器应作为重点。不同领域对未来传感器的要求是不同的，例如各种工业过程中使用的传感...
10. 《谐振式低速气体流速微传感器的理论建模》PDF+DOC 首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器，用以测量低速气体流动。基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时的粘滞系数的数值关系，给出无限长平板的尺寸对于上述关系的影响。基于上述关系，推导这种微传感器在测量低雷诺数气体流动时的理论模型，得到气体流速与谐振子固有频率偏移的关系。使用有限元分......