《改进表面分流型二维PSD传感器及位置检测误差标定的研究》PDF+DOC
作者:袁江,孙玉海
单位:中国计量科学研究院
出版:《计量科学与技术》2004年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLJS2004040050
DOC编号:DOCJLJS2004040059
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介绍了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路 ,针对传感器位置检测误差大的缺点 ,设计了实验标定系统 ,经修正处理后 ,在传感器A区的位置检测误差 <;±; 0 0 2mm。
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