《环境检测与控制用组合传感器研究》PDF+DOC
作者:谢光忠,蒋亚东,杨邦朝
单位:中国电子学会
出版:《电子测量与仪器学报》2004年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZIY2004040040
DOC编号:DOCDZIY2004040049
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本文分别采用磁控溅射方法、旋涂法及烧结工艺制备了铂电阻温度传感器、聚酰亚胺电容式湿度传感器及氧化锆氧气敏传感器 ,用MCM技术对可用于检测室内温度、湿度及氧气浓度的组合传感器进行了结构设计 ,并对制备的温度传感器、湿度传感器及氧气敏传感器的特性进行了测试和讨论。
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