作者：闻小龙,任天令,夏善红 单位：中国科学院电子学研究所;国家自然科学基金委员会信息科学部 出版：《电子与信息学报》2016年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZYX2016110360 DOC编号：DOCDZYX2016110369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性，该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构。区别于将传感器敏感芯片及探头放置于被测环境中，该文通过在MEMS电场传感器封装管壳外部增加封装电极，仅将封装电极暴露在被测环境中，有效避免了传感器敏感芯片封装管壳受到多种恶劣环境的干扰。研制出基于新型封装结构的MEMS地面电场传感器及探空电场传感器，仿真及试验结果表明，该结构传感器能够实现对电场高精度准确测量，在高湿、低温等恶劣环境下输出稳定可靠。

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