作者：高晓童,崔大付,陈德勇,王利,王蕾 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2004年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2004040010 DOC编号：DOCYBJS2004040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《影响扩散硅压力传感器稳定性的因素及解决方法》PDF+DOC2000年第08期 唐慧,季安,章学群,孙艳宾 《MEMS传感器的真空密封技术》PDF+DOC2005年第03期 曾大富,刘建华,罗驰 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《LC谐振式高温压力传感器高温下信号衰减的研究》PDF+DOC2015年第02期 魏坦勇,沈丹丹,谭秋林,罗涛,熊继军 《压力传感器的现状与发展》PDF+DOC2009年第05期 郭冰,王冲 《法布里-珀罗干涉仪的发展与应用》PDF+DOC2001年第07期 白韶红 《谐振弦式传感器理论公式修正方法及应用》PDF+DOC1996年第01期 崔玉亮,刘永明,于凤 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC2002年第04期 童志义,赵晓东 《YF-24WY微压传感器》PDF+DOC2008年第06期 《热激励硅谐振梁压力传感器开环测试系统设计》PDF+DOC2006年第06期 许弟建,王定军,徐世六

    • 介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术，设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器，给出了制作的工艺过程和参数，测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率-压力特性及幅频特性，其灵敏度达到54 89Hz/kPa，Q值大于20000，0～300kPa范围内线性相关系数为0 9997。

    📙 相关资料

    1. 《影响扩散硅压力传感器稳定性的因素及解决方法》PDF+DOC 本文分析了影响扩散硅压力传感器稳定性产生的原理，并依据半导体理论，在工艺上采取了相应的措施。大大改善的传感器的稳定性，使我们生产的传感器稳定性达到国外同类产品的先进水平。...
    2. 《MEMS传感器的真空密封技术》PDF+DOC 文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法，提出了一种真空密封方法的设想。...
    3. 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。...
    4. 《LC谐振式高温压力传感器高温下信号衰减的研究》PDF+DOC 基于LC谐振式传感器在高温下的测试随温度升高会发生信号衰减，频带变宽等现象，为了研究影响信号衰减的主要因素，借助于MATLAB软件，在理论上分析各个因素对信号衰减的影响，初步得出传感器寄生电阻是信号衰减的主要原因；最后，通过分别制作电感线圈和电容陶瓷片模型，并在500℃范围内进行测试，发现电感线圈寄......
    5. 《压力传感器的现状与发展》PDF+DOC 叙述压力传感器的发展历程，对其在国内外发展的趋势做了简要介绍，列举了典型的压力传感器及一些新型的压力传感器。...
    6. 《法布里-珀罗干涉仪的发展与应用》PDF+DOC 本文介绍了采用微机械加工技术制成的法布里-珀罗干涉仪的原理、结构、特性和应用。...
    7. 《谐振弦式传感器理论公式修正方法及应用》PDF+DOC 在简要导出谐振弦式传感器理论公式的基础上，阐述了修正理由，给出了修正公式。实例计算表明，修正公式能显著提高计算精度。最后，利用修正公式对所研制的50MPa谐振弦式压力传感器的标定数据进行了处理，给出了相对计算误差。...
    8. 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC 介绍了MEMS器件的发展历史 ，国内外研究和应用现状 ，对国内外差距进行了比较 ，给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 ，提出了推进MEMS器件产业化的建议...
    9. 《YF-24WY微压传感器》PDF+DOC YF-24WY微压传感器是以集成电路工艺和微机械加工技术制作而成的扩散硅固态压力传感器。传感器的管芯是由四个阻值组成的惠斯顿电桥的结构形式，...
    10. 《热激励硅谐振梁压力传感器开环测试系统设计》PDF+DOC 设计了一个开环测试系统，利用锁相放大器能够对微弱信号进行有效检测的特点，采用交流激励、二倍频拾振的方法，实现了对热激励硅谐振梁压力传感器谐振输出的微弱信号的检测。该测试系统能够快速测得传感器的幅频特性曲线；通过处理，得到传感器的压力-频率特性。整个测试过程由程序控制实现。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。