作者：余丹铭,梁利华,许杨剑 单位：南京电子技术研究所 出版：《电子机械工程》2005年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJX2005010020 DOC编号：DOCDZJX2005010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS技术是一门新兴的技术，近年来，越来越受到世界各国的重视。以下主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势，并对MEMS技术面临的问题进行了简要的讨论和分析。

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