《检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪》PDF+DOC

基于Mirau双光束干涉，研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明，干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构，由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10，数值孔径为0.3，工作距5mm，视场0.64&#215；0.48mm2，中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图，经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明，Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm，垂直方向的测量范围为5.3μm，重复测量精度为1.7nm。

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