作者：李朝林 单位：江苏省电子学会 出版：《信息化研究》2004年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZGS2004090210 DOC编号：DOCDZGS2004090219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了硅压力传感器的灵敏温度系数补偿原理 ，给出了一种在宽温度范围内采用二次补偿灵敏度温度系数的方法 ，实现了宽范围较高的补偿精度。具体方案是把压阻式惠斯登电桥与温度传感器、可微调多晶硅电阻集成在一个芯片上 ，通过优化多晶硅电阻的掺杂浓度和改变激励源的温度特性 ，从而实现对多晶硅压力传感器灵敏温度系数的二次补偿作用。经补偿 ，传感器的灵敏温度系数小于 - 1.5&#215； 10 - 4/℃ ，该方法的补偿温度范围为 2 0℃～ +15 0℃ ，通用性强。

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