《一种用于压电驱动微动工作台的测控系统》PDF+DOC
作者:吴才章,林伟,叶梅,叶虎年
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》2005年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG2005040110
DOC编号:DOCYDSG2005040119
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,曲东升
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研究了压电陶瓷驱动器特有的迟滞和儒变特性,针对它的这些非线性特点,给出了一种有效消除这些非线性误差的闭环控制方案。采用高精度A/D和D/A转换芯片,设计了基于PC机并行增强口EPP协议的控制板。在自行设计高压驱动电路的基础上,研制出了用于纳米级定位的数字闭环控制器。测试结果表明,此控制器很好地克服压电陶瓷驱动器的非线性特性,系统定位精度优于10 nm。
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