《MEMS三维动态测试系统的同步控制方法》PDF+DOC
作者:谢勇君,刘世元,史铁林,来五星,白金鹏,刘胜
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2005年第10期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2005100250
DOC编号:DOCYQXB2005100259
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为使M EM S(m icro e lectro m echan ica l system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法。详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术。通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性。
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