作者：林俊 单位：北京方略信息科技有限公司 出版：《国外电子测量技术》2005年第08期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGWCL2005080020 DOC编号：DOCGWCL2005080029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电机系统(MEMS)是在IC工艺技术基础上发展起来的一项重大科学技术，有着广阔的应用前景，但是它的测试问题从设计开始到批量生产，都面临着巨大的挑战。本文简单地论述了它们面临的测试问题。

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