作者：吴雷,李铁,王立春,王翊,王跃林 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2005年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2005040140 DOC编号：DOCGNCQ2005040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对微机械面型微加热器，采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布，以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析。分析结果表明，真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果，而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内，分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试，与实际情况吻合较好。

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