《基于时间差法主动调焦式激光测头的研究》PDF+DOC
作者:樊玉铭,张国雄,高翔,李智,赵树忠
单位:中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
出版:《中国激光》2005年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJJZZ20050400G0
DOC编号:DOCJJZZ20050400G9
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在研究动态主动调焦法测量原理的基础上,提出一种新型的动态主动调焦式激光测头的检测方法。该检测方法的核心原理是将位移量的测量转换成了时间差的测量,从而简化了激光测头的结构,提高了激光测头的测量精度和稳定性。介绍了所设计的高精度激光测头测量系统,并对激光测头进行了动态特性的实验。结果表明激光测头的测量分辨力为0 .075μm,测量线性度为0. 45μm,测量范围为±;0 .1 mm。
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