《一种以柱面全息光栅为标准器的大量程表面形貌测量仪》PDF+DOC
作者:肖刚,谢铁邦,王选择
单位:中国机械工程学会;广州机械科学研究院
出版:《机床与液压》2005年第11期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJCYY2005110080
DOC编号:DOCJCYY2005110089
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在已有的研究成果基础之上,介绍了一种以柱面全息光栅为标准器的大量程表面形貌测量仪,详细说明了该仪器传感器原理和光电信号处理方法,开发了基于虚拟仪器平台LabW indows/CVI的软件系统并进行了实际测量。该仪器垂直测量范围为±;3mm,垂直分辨率为0.005μm。
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