作者：雷兴华,谭永红,李若愚,谢扬球 单位：桂林电子科技大学 出版：《桂林电子科技大学学报》2005年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGLDZ2005030140 DOC编号：DOCGLDZ2005030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 根据所设计光刻机工件台的定位精度要求，选取RenishawRGH25F直线位移测量光栅作为其位置检测传感器，在此基础上完成了面向TMS320LF2407ADSP接口的工件台位移测量系统的软、硬件设计。实际运行中该测量系统工作稳定、可靠，而且系统还具有重复测量精度高、测量稳定性好和成本相对低廉等优点。

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