作者：王培霞,贾育秦 单位：清华大学 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGKWL2005050120 DOC编号：DOCGKWL2005050129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文简述了微机电系统(MEMS)在各领域的广泛应用，以物理学观点出发分析研究了MEMS器件设计中互相关联的多物理场耦合问题.指出新技术学科存在于物理学发展本身，物理学是MEMS和许多交叉科学发展的坚实基础。

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