作者：马静华,葛运建,吴仲城,孟明,沈春山,申飞,石振 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2005年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2005040140 DOC编号：DOCCGJS2005040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微位移测量已经广泛应用于精密测量领域中，实现微位移测量最关键的环节在于精确的定位和精细的运动。文章设计了一种基于应变方式进行二维微位移(纳米级)测量的系统，详细阐述了该系统主要组成部分：微位移检测传感器、处理电路及相关系统软件。实验结果表明该系统可以满足二维微(纳米级)测量的要求。

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