作者：刘菁,赵建龙,金庆辉 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2005年第08期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2005080070 DOC编号：DOCBDTQ2005080079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS技术在医药科学技术的一个重要应用是植入人体内的生物微系统(BioMEMS)。该系统集微传感器、微驱动器、微流体系统、微光学系统及微机械元件于一体，用于体内器官的诊断、体内器官功能修复或替代，其治疗效果确切，已成为关系本世纪医学与人类健康进步的重要领域。本文介绍了近年来不同功能类别植入式BioMEMS的发展状况，说明了MEMS工艺、方法及材料在此领域的应用。

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