《响应[N(NH_3)_3]气体TiO_2敏感材料低阻化研究》PDF+DOC
作者:艾玉杰,裴素华
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2005年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2005060060
DOC编号:DOCBDTQ2005060069
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通过N2气氛高温退火、Nb2O5掺杂和采用梳状电极结构等方法,成功提高了TiO2基敏感材料的电导率。实验证明,降低氧分压可增强TiO2自身半导化程度;掺入10%左右Nb2O5,Nb5+替代Ti4+形成固溶体,可使TiO2得到最佳半导化效果;采用梳状电极结构,可以在一定程度上减小器件阻值,从而为制造低阻、高灵敏度、高选择性动物食品测鲜传感器开辟了一条新途径。
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