作者：林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2005年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2005010200 DOC编号：DOCMINI2005010209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微机电系统是面向21世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现 状及应用前景进行了全面分析。在此基础上，论述了MEMS未来发展的趋势。

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