作者：姜玲玲,隋成华,姜吉光 单位：中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所 出版：《光学仪器》2005年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXYQ2005050290 DOC编号：DOCGXYQ2005050299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种新的氧化硅亚微米纳米线光波导的制备方法。使用这种方法制备出的光波导具有良好的直径均匀性和表面粗糙度，满足低损耗传输的要求。纳米级的尺寸以及独特的光学特性，使得亚微米纳米线光波导在亚波长结构的微电子、光电子及光子器件中具有较好的应用前景。

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