《MEMS中多孔硅绝热技术》PDF+DOC
作者:窦雁巍,胡明,宗杨,崔梦
单位:中国微米纳米技术学会;天津大学
出版:《Nanotechnology and Precision Engineering》2005年第02期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFNMJM2005020050
DOC编号:DOCNMJM2005020059
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主要介绍了多孔硅的制备方法(化学法、电化学法及原电池法等)、多孔硅导热系数测试的几种常用手段(温度传感器法、显微拉曼散射法及光声法等)、导热系数的理论模型及影响因素.此外,采用不同方法制备了多孔硅样品,分析了其表面形貌并用显微拉曼光谱法测定了导热系数.结果发现,化学法制备的多孔硅孔径尺寸大于微米量级,而利用大孔硅电化学和原电池法得到的样品孔径尺寸小(约20nm),属于介孔硅.由于腐蚀条件的不同,多孔硅的孔隙率和厚度也不同,多孔硅的导热系数随孔隙率和厚度的增大而迅速减小。
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