作者：李梦超,傅星,胡小唐 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2005年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2005040170 DOC编号：DOCNMJM2005040179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微振动是提高纳米测量精度的主要障碍，为了减小微振动在STM测量中的影响，需要对微振动进行隔离和检测．因此，抗振、隔振及振动补偿技术成为了纳米测量领域的一大分支．设计了基于隧道效应的纳米级振动传感器，该传感器具有很高的灵敏度和分辨力，并用设计的振动传感器进行了纳米级振动检测试验．在隧道状态下， 观察隧道间隙对外界微振动的响应情况，并用测量结果实时对STM测量进行补偿．结果表明，基于隧道效应的测振传感器具有很好的响应特性和良好的幅频特性，并且可以进行STM的振动补偿．

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