作者：樊玉铭,张国雄,李智 单位：冶金自动化研究院 出版：《工业计量》2005年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGYJL2005030000 DOC编号：DOCGYJL2005030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文章在研究了共焦法测量传感器及其测量系统的基础上， 提出了一种通过测量连续两个峰值信号的相位差来计算被测表面位置的方法。该测头采用振动音叉调整系统的焦点位置， 用参考臂光路提供参考信号。这种测头舍弃了微型位移传感器， 简化了系统结构， 降低了成本。测量范围为&#177；0 1mm， 动态特性为336 点/s， 测量强反射表面允许的最大倾角为&#177；12&#176；。

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