作者：王强,张久斌,邵靖,程萍,丁桂甫,段力 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2016年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2016110100 DOC编号：DOCCGQJ2016110109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用微机电系统(MEMS)工艺在Al_2O_3基片上制备了Pt—PtRh薄膜热电偶，其工作温度最高可达到1 300℃，最大输出电势达14.8 m V。薄膜热电偶的电势—温度曲线与标准热电偶的曲线基本重合，同时研究了不同粘结层对薄膜微结构、器件寿命的影响。实验结果表明：以Ta为粘结层时薄膜传感器的寿命最长，在1 300℃下可达到14 h。

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