作者：齐天华,高文秀 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2005年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2005040070 DOC编号：DOCBDTQ2005040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《阵列式脉象传感器的设计与制作》PDF+DOC2005年第08期 齐天华,刘继伟,高文秀 《热式MEMS流量传感器的设计及测试》PDF+DOC2017年第04期 胡梦飞,杨露露,刘亚伟,谷永先,胡国俊,吕品 《基于MEMS压力传感器阵列的浪涌检测技术研究》PDF+DOC2017年第06期 齐娜,付士民,王世宁,刘兴宇,陈丽洁 《ZMC-I型脉象换能器的设计》PDF+DOC1999年第04期 王贻俊,王劲松,蔡新吉 《未来的传感器和执行器》PDF+DOC1994年第04期 孙立红 《光纤振动传感器探头的设计》PDF+DOC2002年第02期 江毅 《阵列式MEMS仿生矢量振动传感器研究》PDF+DOC2012年第09期 刘林仙,张国军,许姣,张慧,李振,张文栋 《柔性微热剪切应力传感器阵列》PDF+DOC2012年第06期 王文君,刘武,张卫平,陈文元,杨春生,崔峰,吴校生 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC2007年第08期 吴瑞,温廷敦 《脉象传感器的发展概况》PDF+DOC2006年第23期 姜斌,宋蜇存,于鹏

    • 提出了一种用微机电系统技术(MEMS)应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术，具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化，并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真，模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响。当悬臂梁末端位移变化为50μm时，电阻变化率模拟结果为18.84%，与理论计算值19.67%符合得很好。

    📙 相关资料

    1. 《阵列式脉象传感器的设计与制作》PDF+DOC 提出了一种用微机电系统(MEMS)技术应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术，具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化，并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真，模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响。当......
    2. 《热式MEMS流量传感器的设计及测试》PDF+DOC 根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重，造成很大的测量误差，改进设计了一种MEMS热式流量传感器，将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构，并相互隔离，有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电阻间相互热串扰现象。基于改进的MEMS热式流量传感器，设计了流量传感器的......
    3. 《基于MEMS压力传感器阵列的浪涌检测技术研究》PDF+DOC 提出了一种基于微机电系统(MEMS)压力传感器阵列的浪涌检测技术。通过在压力作用区域内布放MEMS压力传感器阵列，从而获取各测试点上的压力值，对这些压力值进行处理得到相应区域的压力变化趋势。经MEMS压力传感器阵列检测实验系统验证表明：此设计方案能够准确检测到浪涌信号，分辨出浪涌的方向及幅值变化。...
    4. 《ZMC-I型脉象换能器的设计》PDF+DOC 用铍青铜片和半导体应变片研制成了一种中医脉象传感器，该传感器的灵敏度高，重复性好，为中医诊脉的科学化、客观化提供了一个有力的工具。...
    5. 《未来的传感器和执行器》PDF+DOC 本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。...
    6. 《光纤振动传感器探头的设计》PDF+DOC 提出和论述了一种光纤振动传感器的原理和探头设计方法。使用悬臂梁来遮挡反射回光纤的光 ，用光强度调制来实现振动信号的测量。这种传感探头只需一根光纤引出 ，紧凑小巧 ，易于安装调试。结果表明 ，这种光纤振动传感器传感头是可靠而耐用的 ，长时间工作稳定 ，抗外界干扰强 ，易制作 ，易安装。...
    7. 《阵列式MEMS仿生矢量振动传感器研究》PDF+DOC 针对在同一个物理测试过程中，往往会遇到很多所需测量振动信号的大小和频率在大范围内变化，而一个振动传感器很难满足测试要求的情况，提出了一种四单元集成阵列式仿生矢量振动传感器，4个微结构传感器量程分别为：10，100，500，1 000 gn。在分析敏感结构数学模型的基础上，用ANSYS软件对阵列敏感元......
    8. 《柔性微热剪切应力传感器阵列》PDF+DOC 设计了一种基于微机电系统的、制备在柔性聚酰亚胺衬底上的双热线结构微型热剪切应力传感器阵列，可用于复杂形状物体表面所受剪切应力的矢量化测量.基于传感器的原理，用Comsol软件对传感器进行了温度场和流场的仿真，说明了传感器制作工艺流程，用硅橡胶与聚酰亚胺在酒精中浸泡后易于剥离的特点实现柔性传感器脱膜.......
    9. 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高加速度计灵敏度，提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计，基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计，通过理论分析计算与试验测试，得出该结构在0.1gn输入下的输出，并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的......
    10. 《脉象传感器的发展概况》PDF+DOC 本文介绍了脉象分析仪的各种传感器的工作原理和传感器的探头形式，并提出了脉象分析仪传感器的进一步研究期望。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。