作者：邓斌,刘晓明,邓琼 单位：南京电子技术研究所 出版：《电子机械工程》2005年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJX2005050130 DOC编号：DOCDZJX2005050139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在MEMS中，由于制造工艺的不同，形成了不同的多层材料结构。因此，在MEMS设计中必须针对多层材料结构形式进行分析。同时，由于它们的功能要求差异和使用环境的不同，必须对其进行必要的结构分析，以最佳的结构性能，最低的制造成本满足使用要求。文中提出MEMS中基于制造工艺的多层材料结构分析的方法.并应用该方法针对加速度微阵列式传感器进行结构分析计算，设计并制造了式样。在ENDVCO2270设备上进行测试，获得62500g的加速度测试值。

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