作者：杨红军,李刚炎 单位：四川省机械研究设计院;四川省机械工程学会;四川省机械科技情报研究所 出版：《机械》2005年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMECH2005010000 DOC编号：DOCMECH2005010009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一，是 21 世纪最有前途的产业之一。概述了微机电系统的定义与构成，讨论了微机电系统的一些关键技术，并对微机电系统的发展前景作了展望。

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