作者：史先传,朱荻,徐惠宇 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005050240 DOC编号：DOCCGQJ2005050249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对现有间隙检测方法存在精度低，且仅能测量平均间隙的缺点，提出一种测量最小间隙的简单方法———低电压湿对刀方法，介绍了湿对刀方法测最小加工间隙的原理，并进行了试验验证，试验结果表明：测量精度可达2μm。

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