《阵列式CMOS细胞电信号传感芯片》PDF+DOC
作者:朱婷,朱大中,施朝霞
单位:南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所)
出版:《固体电子学研究与进展》2005年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGTDZ2005040170
DOC编号:DOCGTDZ2005040179
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介绍了一种采用0.6μm标准CMOS工艺实现的阵列式细胞电生理信号传感芯片。该芯片集成了6×;6单元有源传感阵列、模拟多路选择器、输出缓冲器、参考源和数字控制电路,实现了传感电路和后端信号处理电路的单片化集成。传感单元面积为60μm×;60μm,包含15μm×;15μm的传感电极和有源预处理电路,线性放大幅值范围100μV~25mV的微小信号,电压增益为40dB。同时单元电路采用相关二次采样工作模式,采样信号可经后续差分电路除去固定模式噪声,提高传感器的精度。在标准CMOS工艺基础上,应用lift-off工艺对电极进行后续加工,提高其生物测量适应性。并通过封装技术的改进,使芯片适合在电解液环境下工作。在溶液中的模拟生物电学测试验证了芯片的功能。
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