作者：王聪,史铁林,李晓平 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005050030 DOC编号：DOCCGQJ2005050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • ZnO2，SnO2，Fe2O3等基底材料可以用来制作半导体型乙醇气体传感器中的气敏膜。在基底中掺杂Pt，TiO2等物质可以获得很高的气体检测灵敏度和很好的选择性。利用电子枪蒸发薄膜工艺来制作乙醇气体敏感膜，可以取得很好的效果。与通常使用的厚膜工艺相比，薄膜工艺与MEMS工艺兼容，更适合制作微小器件。

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