作者：于正林,吴一辉,刘治华,贾宏光,黎海文 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2005年第14期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2005140230 DOC编号：DOCZGJX2005140239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为研究MEMS的微摩擦需设计一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器，尤其是能进行微机构摩擦力和正压力测试的大范围、高灵敏度的微摩擦检测装置。给出了一种基于光反射法的微摩擦测试仪的设计方法，介绍了该仪器的设计原理、测力传感器的结构设计、仪器的标定方法。硅测力传感器采用MEMS工艺制作，具有变形量大、线性度好、灵敏度高等优点。实验结果表明，该测试仪能满足微机电系统微摩擦测试的需要。

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