作者：谷永先,邬林,曾鸿江,胡娜娜,钱江蓉 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016080050 DOC编号：DOCYBJS2016080059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计》PDF+DOC2016年第06期 谷永先,曾鸿江,邬林,胡娜娜,钱江蓉 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC2020年第08期 徐洋 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定》PDF+DOC2018年第02期 李晓琴,赵双双,牛海霞 《MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置》PDF+DOC2014年第08期 高杨,代富,席仕伟,刘婷婷 《MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现》PDF+DOC2017年第02期 陈佩,赵玉龙,田边 《热式MEMS流量传感器的设计及测试》PDF+DOC2017年第04期 胡梦飞,杨露露,刘亚伟,谷永先,胡国俊,吕品 《基于MEMS流量传感器的智能燃气表》PDF+DOC2020年第02期 胡芸华,刘勋,李涛涛,陈伟明 《微量程段的热式气体质量流量传感器研制》PDF+DOC2018年第07期 胡娜娜,刘莹,徐露,钱江蓉,胡国俊 《热式气体质量流量传感器研究与发展》PDF+DOC2005年第10期 孙承松,李瑞 《基于MEMS传感器的车载微惯性测量单元设计》PDF+DOC2013年第01期 杨文华,石存杰,秦洪武,王启唐,李正盛

    • 设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器，芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离，流量值采用UART串口输出。分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC15W408AS单片机电路的设计。针对制造中存在的性能差异，设计了适用于批量制造的标定方法。测试结果表明：传感器具有平滑的输出特性，经过标定后，具有较高的一致性及重复性，适合于工业等领域。

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