作者：Suki 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2005年第12期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2005120020 DOC编号：DOCBDTJ2005120029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS(Micro Electro Mechanical?System)，即微电子机械系统，始于上世纪50-60年代，80年代迅速发展成为一门综合性新兴学科。微电子机械系统包括微能源、微驱动器、微传感器(如声、光、热、力、电等)、微控制器和微操作器等，集成于一个微小的空间，实现一种或多种设定的功能。MEMS可以成数量级地提高器件与系统的功能密度、信息密度与互连密度，因而能大幅度地节能、节材，极大地满足了人们对各类产品的袖珍化、微型化与便携化的需求，MEMS在微型化、集成化的发展过程中为探索新原理、新功能的器件或系统开辟了新的技术领域和产业，从最初的传感器逐渐应用于光通信、射频无线通信、生物工程技术、工业传感器及其他需要微型、微细机械的民用及军事工业等领域，已引起了世界各国科学家、产业部门和政府部门的高度重视，已被列入各发达国的高技术发展规划，被认为是未来世界十大科技之一。

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