作者：许媛媛,夏善红,边超,刘敬伟,孙红光,陈绍凤 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005020010 DOC编号：DOCCGQJ2005020019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子机械系统(MEMS)技术为生物微传感器和生物芯片的研制以及实现小型化、便携式、低成本，高灵敏度的生化片上系统提供了有力的技术支持。综述了基于MEMS的生物微传感技术，介绍了生物微传感器和生物芯片的原理、结构、分类及应用，并探讨了其发展和应用前景。

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