《四端硅压力传感器输出电压的解析模型》PDF+DOC

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2. 《硅四端横向压阻式压力传感器的解析模型》PDF+DOC 用摄动法求解了硅横向压阻效应四端器件的偏微分方程.用渐近解的分析方法对所求到的解进行简化，导出了硅横向压阻效应四端压力传感器的输出电压表达式.所得公式能够定量表达输出电压与输入参量和器件几何参数的关系，所得到结果与数值解和实验结果吻合。...
3. 《一种改进型梁-岛-膜压力传感器的研究与设计》PDF+DOC 研究了一种量程为800 kPa的改进型梁-岛-膜结构MEMS压阻式压力传感器，通过与常见的C型和E型结构进行仿真对比，证明这种改进型结构的传感器灵敏度得到了很大提高。采用IntelliSuite仿真分析最大等效应力、挠度和输出电压，得出在中心膜尺寸为2.6 mm&#215；2.6 mm&am......
4. 《BiFeO_3纳米纤维压力传感器的研制》PDF+DOC 制作了一种BiFeO_3纳米纤维压力传感器和测试装置，用测试装置对压力传感器进行测试，并对测试数据进行分析。采用BiFeO_3纳米纤维作为敏感材料，利用微电子机械系统(MEMS)加工工艺制备出带有叉指电极的硅基底，用静电纺丝设备将BiFeO_3纳米纤维铺设到叉指电极上面，再将PDMS薄膜覆盖在纳米纤......
5. 《基于压电悬臂梁的驱动器与传感器性能分析的精确解析模型》PDF+DOC 三层压电梁结构在电场作用下发生变形后会产生诱发电势，进而改变材料整体电势分布，本文考虑此变形和电势耦合效应，基于欧拉-伯努利梁变形理论，推导出能够准确预测压电智能悬臂梁传感器与驱动器性能的解析表达式。考虑压电梁结构弯曲变形后产生的电场影响，建立了三层压电梁结构的控制方程；建立了压电梁作为驱动器时端部......
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