作者:王军军,周嘉,黄宜平 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2005年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2005040090 DOC编号:DOCCGQJ2005040099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 在直流偏置电压对PZT压电微悬臂梁谐振频率的影响研究中,建立了理论方程,并通过激光干涉测试实验对所建方程进行了验证。理论方程和实验均表明:直流偏置电压对PZT微悬臂梁的谐振基频的影响是二阶函数。在直流偏置电场小于1×107 V/m时,直流偏置电压和谐振基频存在线性变化区。此结论可以用于改善谐振式PZT微悬臂梁传感器的信号检测系统,即利用扫描直流偏置电压取代频谱分析。

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