作者：于永新,周涛,郑义忠 单位：中国计量科学研究院 出版：《计量科学与技术》2005年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLJS2005110040 DOC编号：DOCJLJS2005110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《纳米级电容测微系统的研究》PDF+DOC2005年第03期 史庆伟,周涛,郑义忠,张国雄 《压阻型地面气压传感器研制中的几个问题》PDF+DOC1985年第03期 杨经负 《高精度电容测微仪关键技术》PDF+DOC2004年第09期 李建文,刘书亮,付敬业,周涛,郑义忠 《差动电容式角度传感器》PDF+DOC1987年第04期 宋尔纯 《一种高分辨率接触式电容测微装置》PDF+DOC1987年第02期 庄永芳,冯伟明 《电容式微位移传感器检测电路的设计》PDF+DOC2005年第01期 孙立宁,晏祖根,陈立国 《扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法》PDF+DOC2012年第03期 朱龙俊 《一种非接触式的刀口角测量系统》PDF+DOC2012年第10期 李永强,熊正烨,封余军,黄存友,师文庆 《电容检测技术分析及差动变频检测电路设计》PDF+DOC2012年第10期 许立志,陈春兰 《一种高精度非接触式位移传感器及其应用》PDF+DOC2007年第07期 陈育荣,杨旭东,谢铁邦

    • 本文首先介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理，进而详细论述了纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等关键技术问题，对典型驱动电缆方案作了比较。根据原理模型，给出了仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行了详细的分析，并提出了相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨力达到0.1nm，测量范围&#177；2~&#177；50μm，满量程非线性优于0.5%。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度动、静态微位移测量及纳米定位。

    📙 相关资料

    1. 《纳米级电容测微系统的研究》PDF+DOC 本文首先介绍非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理，进而详细论述纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等的关键技术问题，对典型驱动电缆方案作比较。根据原理模型，给出仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行详细的分析，并提出相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨率......
    2. 《压阻型地面气压传感器研制中的几个问题》PDF+DOC 本文主要讨论气压传感器的长期稳定性和精度，找出了该器件不稳定的主要原因，导出了保证年稳定性的必要条件，提出了不牺牲灵敏度而能提高精度的分段处理方法。...
    3. 《高精度电容测微仪关键技术》PDF+DOC 针对非接触式电容测微技术的应用问题，介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理及关键技术，给出了仪器的主要结构，对仪器电路进行了模块化设计，研究分析了实际测量过程中不可避免的各种误差，并提出了相应的消除或修正方法.研究结果表明，探头的有效直径为1mm时，仪器的分辨率可达1nm，测量范围为&......
    4. 《差动电容式角度传感器》PDF+DOC 在检测旋转角度的时候，迫切需要一种精度高、体积小、重量轻、价格低的非接触式角度传感器。这里介绍的差动电容式角度传感器是日本法正大学工学部为满足上述需要而研制的，是一种新型的旋转角度传感器。此种传感器是将旋转角度作为电容的差动变化，经交流电桥使之变换成电压值。...
    5. 《一种高分辨率接触式电容测微装置》PDF+DOC 目前，随着精密机械和精细技术的发展，对微小位移的测量已进入毫微米领域，精度和分辨率要求越来越高，并且希望使用环境不太苛刻、价格低廉、操作简便。电容测微在这方面很有潜力，以往在实验室条件下，有的分辨率达到0.1(?)，有的精度在100mm测量范围达0.04μm，有的稳定性方面达到每天漂移10~(-9)......
    6. 《电容式微位移传感器检测电路的设计》PDF+DOC 设计了一种改进的电容运算放大器检测电路，该电路主要包括正弦激励源电路、电容检测电路、精密全波整流电路和增益滤波电路。实验证明，采用该电路的传感器，非线性误差小于 0.1%，分辨率优于 0.1μm。...
    7. 《扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法》PDF+DOC 扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大，必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦，从而实现对压力传感器输出的有效补偿，进而得到准确可靠的压力测量值。文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成，针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型，建立了有效算式，最后通过实例验证了算法的正确性，其精度可......
    8. 《一种非接触式的刀口角测量系统》PDF+DOC 为了测量五金刀剪的刀口角度，在流体接触式电容倾角传感器的基础上，设计并制造了一种基于激光的非接触刀口角测量系统。该系统结构简单，可实现刀口角的非接触测量。通过对两种刀的刀口角测量表明，该系统测量刀口角的误差小(约为0.3&#176；)，精度高(0.1&#176；)，特别适用于刀剪行业......
    9. 《电容检测技术分析及差动变频检测电路设计》PDF+DOC 讨论了电容传感器特性和各种电容传感器检测电路，对造成调频检测电路频率不稳定的因素进行了分析，得到影响振荡频率的原因以及这些影响的共同特征，从而提出了一种新的差动变频检测技术方案。...
    10. 《一种高精度非接触式位移传感器及其应用》PDF+DOC 介绍了一种新型的基于改进傅科聚焦探测法且自带衍射光栅计量系统的非接触式位移传感器。因为没有采用音圈电机而是采用压电陶瓷驱动器，所以这种自带衍射光栅计量系统的传感器具有更高的精度。在测量工件表面形貌时，压电陶瓷驱动器驱动聚焦物镜进行垂直位移，从而确保在每一个采样间隔中焦点总是落在工件表面上，同时使得聚......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。