作者：张新,高勇,安涛,王彩琳 单位：西安理工大学 出版：《西安理工大学学报》2005年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXALD2005030030 DOC编号：DOCXALD2005030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 分析了高灵敏度光电位置传感器(PSD)的设计和工艺制作过程，给出了器件制作工艺流程。对制作的器件进行了参数测试，测试结果为：响应波长为600~1200 nm，峰值响应波长为760 nm，位置分辨能力为5μm，位置探测误差为&#177；50μm，暗电流为1.4&#215；10-10A(VR=-5 V)，峰值灵敏度为0.8634A/W。同时为提高器件的响应速度，提出了基于SOI技术的PSD器件结构。

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