作者：李斌,李观启,黄美浅,刘玉荣,陈平 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》2005年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ2005010280 DOC编号：DOCGTDZ2005010289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对三种二氧化硅层厚度 (1 0 nm、2 5 nm、40 nm)的器件进行测试 ，研究二氧化硅层的厚度对 Ba1 - x Lax Ti O3多功能传感器敏感特性的影响。结果表明 ，对于 MIS电容传感器 ，氧化层越薄 ，湿敏灵敏度越高 ，湿滞越小 ；相反 ，对于薄膜电阻传感器 ，氧化层越厚 ，光敏灵敏度越高。总之 ，选择一个合适的氧化层厚度 ，器件可以同时具有较高的湿敏、光敏灵敏度。

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