作者：彭银桥,甘元驹 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005070100 DOC编号：DOCCGQJ2005070109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用离子束溅射镀膜技术，在17-4PH不锈钢弹性衬底上直接溅射SiO2绝缘膜和NiCr薄膜，制备了一种新型的压力传感器用合金薄膜。分析了热处理工艺对合金薄膜电阻稳定性的影响，对NiCr薄膜电阻进行了4种热处理工艺，获得了使合金薄膜电阻长期稳定的热处理工艺参数在SiOx和N2的保护下，673K退火1h，并在473K下保温24h。用该工艺能制备适应各种恶劣环境的高精度压力传感器。

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