《一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试》PDF+DOC
作者:钱开友,颜丙勇,林仰魁,王芸,徐东,蔡炳初
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2005年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2005030420
DOC编号:DOCCGJS2005030429
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提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构。计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点。对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果较为相符。
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