《微机械电容式加速度传感器信号电路设计》PDF+DOC

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2. 《基于MEMS的电容式传感器信号调理电路设计》PDF+DOC 为了提高MEMS(Micro-electro-mechanical Systems)微机电系统电容式传感器测量低电容的灵敏度，提出了一种MEMS电容式传感器调理电路，并采用绝缘硅片(SOI)MEMS电容式加速度传感器组成了完整的电容测量系统。该信号调理电路采用了一组片上电容阵列用以抵消电容结构的失配......
3. 《变面积结构微机械电容式加速度传感器》PDF+DOC 文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构，由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下，质量块呈平行于衬底水平移动，引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化。通过测量差分电容的变化，可以得到加速度信号的大小。理论分析表明加速度响应......
4. 《驱动信号对电容式传感器特性的影响分析》PDF+DOC 在电容检测中 ，交流电压驱动常常是测量电容变化的必要手段 .驱动电压引起作用于可动电极上的静电力 ，从而影响到可动电极的运动 .因此 ，交流电压的静电驱动势必影响测量的范围和精度 .本文详细地分析了由交流电压引起的静电驱动力对微机械结构静态位移特性的影响 ，并以电容式加速度传感器为例 ，分单边驱动和......
5. 《高线性微机械差分电容式加速度计测量电路》PDF+DOC 介绍了一种可用于微机械电容式加速度传感器的接口电路，该电路应用了开关型相敏解调电路，具有灵敏度高、线性好的特点，能测量微差分电容的变化。实验结果表明，该电路的线性高，测量微差分电容具有良好性能，是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路。应用该电路于最新开发成的微机械电容式加速度传感器，电路输出信号......
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7. 《静电计检测微位移的原理和实验》PDF+DOC 该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中，静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移，其原理，最终公式和测试电路相当简单，而分辨率，预期能达到nm量级。用静电计——平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论。...
8. 《一种小型电容敏感式加速度计的研制》PDF+DOC 利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件，研制出电容敏感式加速度计。设计了一种提取差动电容信号的检测电路。给出了电路中所使用的电子元器件，经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系。经过实验测试，加速度计的灵敏度大约为391.12mV/(m.s-2)。...
9. 《一种用于参比型电容压力传感器的调宽线路》PDF+DOC 本文介绍了一种适用于参比型电容压力传感器的脉冲调宽线路。在压力作用下，敏感电容随压力的变化而变化，而参比电容保持不变。电路输出电压与压力成线性关系，线路简单、功能齐全、调整灵活，不但可以对输出进行非线性校正，而且还具有一定的温度补偿作用。...
10. 《微小差分电容检测技术的研究》PDF+DOC 在MEMS电容式加速度传感器的测试中，由于受单放大器开环增益有限的影响，提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的.针对这种情况，本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理，实验结果表明，电路可检测的最小差分电容可达到5aF(5&#215；10-18F)。...