作者：钱开友,王芸,叶枝灿,颜丙勇,徐东,蔡炳初 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2005年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2005020120 DOC编号：DOCWXJS2005020129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研制出了碳纳米管场发射压力传感器。在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构，计算机模拟证明，这种结构具有大量程与高灵敏度的优点。同时对这种结构的形变特性进行了实验测试，为传感器结构的整体尺寸设计提供了依据。最后对这种新型传感器的性能进行了测试，表明传感器的灵敏度为0.22μA/kPa(5kPa~101kPa)。

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