作者：曾大富,钟贵春 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2005年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2005020150 DOC编号：DOCMINI2005020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文章介绍了谐振梁压力传感器的气密封装技术，全面分析了影响气密封装的各种因素，提出了相应的解决方法。

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