作者：邹华东,谢铁邦 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2005年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2005080010 DOC编号：DOCCGSJ2005080019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了一种以整体线切割设计的音圈电机为驱动的聚焦式位移传感器，它具有良好的静动态特性。通过音圈电机以两次精确找焦的方法来确定焦点的位置，同时配合数字伺服控制方法并对于不同的材料表面及在有一定角度的表面检测失焦时进行特殊处理，能使得该传感器能够精确快速找到焦点。

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