作者：陈爽,李晓莹,马炳和,苑伟政 单位：西北工业大学 出版：《机械科学与技术》2005年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXKX20050300H0 DOC编号：DOCJXKX20050300H9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测，设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器。传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里帕罗标准具，并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连。确定了MEMS微型传感器的关键结构与尺寸，并对压力敏感膜片的变形及反射率等进行了理论计算和行为仿真，结果表明达到预期的设计目标。该传感器具有精度高、抗电磁干扰、尺寸小、耗能低等优点。

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