作者：唐晓刚,颜永安,王建民,牛德芳 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2005年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2005120040 DOC编号：DOCYBJS2005120049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种 MEMS 差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对 MEMS Sensor 选择差动电容传感器的理论依据进行了分析，叙述了 MEMS 差动电容加速度传感器各项参数的设计依据，包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等，同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理，不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移，结构合理，达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。

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