《绝压传感器温漂补偿及性能仿真》PDF+DOC
作者:蓝加平,陈首部
单位:中南民族大学
出版:《中南民族大学学报(自然科学版)》2005年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZNZK2005020140
DOC编号:DOCZNZK2005020149
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分析了扩散硅绝对压力传感器的静态特性,提出了线性校正和零点校正方案,并利用Matlab软件对其性能进行了仿真,结果表明:解决了该类绝对压力传感器温漂的补偿问题,用廉价的压力敏感元件实现了对真空压力分辨到1Pa的测量。
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